材料やデバイスの電気インピーダンスは、交流電流をどれだけ制限するかを表します。インピーダンスは、インダクタンス、キャパシタンス、抵抗などからなり、テスト電圧と測定電流の位相の関係を考慮し、多くは複素数値で表されます。
インピーダンス測定は、正弦波電圧を印加し、電流を位相差を含めて測定することで、材料やデバイスの特性を非破壊で調べる方法です。印加信号の周波数を変化させることにより、試料の周波数特性が得られ、誘電的な特性等の基本的な特性評価が可能となります。
Zurich Instrumentsの高精度で高速な測定器は、DLTSを用いた半導体ジャンクションの特性評価、ウェアラブルバイオセンサーの開発等に有用で、データ取得と解析のための高度なツールセットも標準で提供されます。さらに、従来のインピーダンス・アナライザでは対応できなかった低周波や高インピーダンス領域もカバーしています。